Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120051714 |
HGF-Programm | 41.01.00 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Micro/Nano |
Heft | 2 |
Seiten | 2-4 |
Erscheinungsvermerk | (2002) |