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Non-IC microsystems manufacturing offers alternatives

Bley, P.; Elders, J.; Walsh, S. T.


Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120051714
HGF-Programm 41.01.00 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Micro/Nano
Heft 2
Seiten 2-4
Erscheinungsvermerk (2002)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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