Non-IC microsystems manufacturing offers alternatives

Bley, P.; Elders, J.; Walsh, S. T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120051714
HGF-Programm	41.01.00 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Micro/Nano
Heft	2
Seiten	2-4
Erscheinungsvermerk	(2002)