Makroauftritt für Mikrosysteme. Forschungszentrum Karlsruhe präsentiert neueste Entwicklungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120051853 |
| HGF-Programm | 41.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | SIEG TECH |
| Band | 18 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 30-31 |