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PIM enters microsystems technology

Piotter, V.; Gietzelt, T.; Merz, L.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120052076
HGF-Programm 41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in P/M Science and Technology Briefs
Band 4
Seiten 18-23
Erscheinungsvermerk No.1
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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