PIM enters microsystems technology
Piotter, V.; Gietzelt, T.
; Merz, L.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.
; Merz, L.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120052076 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | P/M Science and Technology Briefs |
| Band | 4 |
| Seiten | 18-23 |
| Erscheinungsvermerk | No.1 |