Status und Perspektiven des Programms Mikrosystemtechnik (MIKRO)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120052526 |
| HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
| Band | 34 |
| Seiten | 93-102 |