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Metallische Mikrostrukturapparate - neue Wege in der Verfahrenstechnik

Schubert, K.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/120052529
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120052529
HGF-Programm 41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe
Band 34
Seiten 119-28
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