Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120052537 |
HGF-Programm | 41.09.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
Band | 34 |
Seiten | 183-89 |