Lithographische Verfahren zur Mustererzeugung in der Mikrosystemtechnik
Schulz, J.
; Maas, D.; Mohr, J.
; Maas, D.; Mohr, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120052538 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
| Band | 34 |
| Seiten | 190-97 |