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Lithographische Verfahren zur Mustererzeugung in der Mikrosystemtechnik

Schulz, J.; Maas, D.; Mohr, J.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/120052538
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120052538
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe
Band 34
Seiten 190-97
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