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Verbesserte Handhabung von Wafer-Substraten bei der Mikrogalvanoformung

Guttmann, M.; Moritz, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120052602
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Galvanotechnik
Band 93
Seiten 2398-2402
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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