Verbesserte Handhabung von Wafer-Substraten bei der Mikrogalvanoformung
Guttmann, M.
; Moritz, H.
; Moritz, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120052602 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 93 |
| Seiten | 2398-2402 |