| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120052626 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Physik in unserer Zeit |
| Band | 33 |
| Seiten | 56-59 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |