| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120054027 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 93 |
| Seiten | 2962-68 |
| Erscheinungsvermerk | (2002) |