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Mikrostrukturieren. Schattenmasken für PVD-Verfahren herstellen

Guttmann, M.; Bade, K.; Hein, H.; Kramer, C.; Wilson, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120054857
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Metalloberfläche
Band 57
Heft 5
Seiten 27-31
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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