Mikrostrukturieren. Schattenmasken für PVD-Verfahren herstellen
Guttmann, M.; Bade, K.
; Hein, H.; Kramer, C.; Wilson, S.
; Hein, H.; Kramer, C.; Wilson, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120054857 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Metalloberfläche |
| Band | 57 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 27-31 |