Integrating nanoscale components and nanostructures into next generation's microsytems - recent developments at Forschungszentrum Karlsruhe

Kautt, M.; Kando, J.; Schneider, T.; Frietsch, M.; Bruns, M.; Hanemann, T.; Ruprecht, R.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Pfeifer, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120055536
HGF-Programm	42.03.10 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	MST News
Heft	3
Seiten	38-39
Erscheinungsvermerk	(2003)