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Fabrication of polymer microsystems

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120056265
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in International Journal of Computational Engineering Science
Band 4
Seiten 175-80
Erscheinungsvermerk 2nd Internat.Conf.on Materials for Advanced Technologies and IUMRS Internat.Conf.in Asia 2003, Singapore, SGP, December 7-12, 2003
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