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Mikrooptische konfokale Abstandssensoren für die Fertigungsmesstechnik

Last, A.; Lehmann, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120056266
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erschienen in Inspect : Bildverarbeitung
Seiten 64-66
Erscheinungsvermerk Oberfläche, Mikroskopie ; eine Sonderpublikation von Messtec & Automation, Ausgabe 2, Oktober 2003
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