Mikrooptische konfokale Abstandssensoren für die Fertigungsmesstechnik
Last, A.
; Lehmann, P.
; Lehmann, P.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120056266 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Inspect : Bildverarbeitung |
| Seiten | 64-66 |
| Erscheinungsvermerk | Oberfläche, Mikroskopie ; eine Sonderpublikation von Messtec & Automation, Ausgabe 2, Oktober 2003 |