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'Focused ion beam'-Mikroskop, ein neues Werkzeug für die Mikrotechnik

Volkert, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120056706
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Heft 18
Erscheinungsvermerk FIF Newsletter, (2003)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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