'Focused ion beam'-Mikroskop, ein neues Werkzeug für die Mikrotechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120056706 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Heft | 18 |
| Erscheinungsvermerk | FIF Newsletter, (2003) |