Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120057897 |
HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
Erschienen in | PLUS - Produktion von Leiterplatten und Systemen |
Band | 6 |
Seiten | 940-41 |