Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120058588 |
HGF-Programm | 41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung |
Erschienen in | Galvanotechnik |
Band | 95 |
Seiten | 2260-74 |