| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120058588 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 95 |
| Seiten | 2260-74 |