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Beiträge der Nanotechnologie zur Steigerung der Leistung und Erweiterung des Anwendungsspektrums von Mikrosystemen

Kautt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120059724
HGF-Programm 41.98.00 (POF I, LK 01)
Erschienen in Galvanotechnik
Band 95
Seiten 1010-16
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