Beiträge der Nanotechnologie zur Steigerung der Leistung und Erweiterung des Anwendungsspektrums von Mikrosystemen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120059724 |
| HGF-Programm | 41.98.00 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 95 |
| Seiten | 1010-16 |