| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120060258 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (POF I, LK 01) Dünnschichten |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 96 |
| Seiten | 372-74 |