Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120060258 |
HGF-Programm | 41.02.02 (POF I, LK 01) Dünnschichten |
Erschienen in | Galvanotechnik |
Band | 96 |
Seiten | 372-74 |