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Einfache Substrathalter für die Mikrogalvanoformung

Guttmann, M.; Matthis, B.; Schulz, J. ORCID iD icon; Winkler, F.; Moritz, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120060537
HGF-Programm 41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung
Erschienen in Metalloberfläche
Band 59
Heft 4
Seiten 22-30
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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