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Einfache Substrathalter für die Mikrogalvanoformung

Guttmann, M.; Matthis, B.; Schulz, J.; Winkler, F.; Moritz, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120060537
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erschienen in Metalloberfläche
Band 59
Heft 4
Seiten 22-30
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