| Zugehörige Institution(en) am KIT | Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120062806 |
| HGF-Programm | 41.98.01 (POF I, LK 01) Programmleitung MIKRO |
| Erschienen in | MikroSystem Technik |
| Heft | 2 |
| Seiten | 16-17 |
| Erscheinungsvermerk | (2005) |