Zugehörige Institution(en) am KIT | Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120062806 |
HGF-Programm | 41.98.01 (POF I, LK 01) Programmleitung MIKRO |
Erschienen in | MikroSystem Technik |
Heft | 2 |
Seiten | 16-17 |
Erscheinungsvermerk | (2005) |