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Zerstörungsfreie, dreidimensional abbildende Untersuchungen für Mikrosystem-Produkte

Helfen, L.; Baumbach, T.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/120063528
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120063528
HGF-Programm 55.51.10 (POF I, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers.
Erschienen in Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe
Band 37
Seiten 215-18
Erscheinungsvermerk (2005)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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