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Commercial importance of a unit cell: nanolithographic patenting trends for microsystems, microfabrication, and nanotechnology

Eijkel, K.; Hruby, J.; Kubiak, G.; Scott, M.; Brokaw, J.; Saile, V.; Walsh, S.; White, C.; Walsh, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120064661
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Journal of Microlithography
Band 5
Seiten 011014/1-6
Erscheinungsvermerk Microfabrication, and Microsystems
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