Commercial importance of a unit cell: nanolithographic patenting trends for microsystems, microfabrication, and nanotechnology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120064661 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Journal of Microlithography |
| Band | 5 |
| Seiten | 011014/1-6 |
| Erscheinungsvermerk | Microfabrication, and Microsystems |
| Nachgewiesen in | Dimensions |