Modeling and optimization of the hot embossing process for micro- and nanocomponent fabrication
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120064669 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Journal of Microlithography |
| Band | 5 |
| Seiten | 011005/1-13 |
| Erscheinungsvermerk | Microfabrication, and Microsystems |
| Nachgewiesen in | Dimensions |