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LIGA: Von der Trenndüse zu Zahnrädern für Luxusuhren

Bacher, W.; Saile, V.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/120066601
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120066601
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erschienen in Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe
Band 38
Erscheinungsvermerk S.84-86 Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : Zum 10-jährigen Bestehen der GMM Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2006 S.75-78
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