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Ultraschallunterstützte Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen

Winkler, F.; Guttmann, M.; Laier, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120066916
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Erschienen in Galvanotechnik
Band 97
Seiten 3034-45
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