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GLOBE MST - metastudy on the state of the art in microsystem technology

Dickerhof, M.; Anson, S.; Bittner, K.; Kautt, M.; Kaufmann, U.; Schmidt, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120072770
HGF-Programm 43.01.04; LK 01
Erschienen in MST News
Heft 5
Seiten 24-26
Erscheinungsvermerk (2008)
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