Partielle Resistmetallisierung für hohe Aspektverhältnisse
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120075403 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF II, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Mikroproduktion |
| Heft | 3 |
| Seiten | 46-50 |
| Erscheinungsvermerk | (2009) |