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Partielle Resistmetallisierung für hohe Aspektverhältnisse

Winter, S.; Wilson, S.; Guttmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120075403
HGF-Programm 43.04.04 (POF II, LK 01)
Erschienen in Mikroproduktion
Heft 3
Seiten 46-50
Erscheinungsvermerk (2009)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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