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Neues modulares Anlagenkonzept für nasschemische Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung

Guttmann, M.; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, H.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.; Schubert, I.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120077296
HGF-Programm 43.04.04 (POF II, LK 01)
Erschienen in Galvanotechnik
Band 100
Seiten 2616-24
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