Reducing pull-in voltage by adjusting gap shape in electrostatically actuated cantilever and fixed-fixed beams
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120079830 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Micromachines |
| Band | 1 |
| Seiten | 68-81 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |