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Reducing pull-in voltage by adjusting gap shape in electrostatically actuated cantilever and fixed-fixed beams

Haluzan, D.T.; Klymyshyn, D.M.; Achenbach, S.; Börner, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.3390/mi1020068
KITopen ID: 120079830
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erschienen in Micromachines
Band 1
Seiten 68-81
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