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Reducing pull-in voltage by adjusting gap shape in electrostatically actuated cantilever and fixed-fixed beams

Haluzan, D. T.; Klymyshyn, D. M.; Achenbach, S.; Börner, M. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.3390/mi1020068
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Zitationen: 20
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120079830
HGF-Programm 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erschienen in Micromachines
Band 1
Seiten 68-81
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