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Universelle Fixierung von Shim-Formeinsätzen für die Mikro- und Nanoreplikation auf Basis von Polymerfolien

Röhrig, M.; Heilig, M.; Schneider, M.; Kolew, A.; Kaiser, K.; Guttmann, M.; Worgull, M.



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Zitationen: 1
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120079853
HGF-Programm 43.13.02 (POF II, LK 01)
Erschienen in Galvanotechnik
Band 101
Seiten 1646-59
Nachgewiesen in Scopus
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