Universelle Fixierung von Shim-Formeinsätzen für die Mikro- und Nanoreplikation auf Basis von Polymerfolien
Röhrig, M.; Heilig, M. 1; Schneider, M. 1; Kolew, A. 1; Kaiser, K. 1; Guttmann, M.
1; Worgull, M. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Worgull, M. 11 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120079853 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 101 |
| Seiten | 1646-59 |
| Nachgewiesen in | Scopus |