Alternative Fertigungsverfahren für Formeinsätze durch galvanische Replikation von mikro- und nanostrukturierten Bauteilen
Wissmann, M. 1; Guttmann, M.
1; Hartmann, M. 1; Beiser, M. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Hartmann, M. 1; Beiser, M. 11 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0016-4232 KITopen-ID: 120080703 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Verlag | Leuze |
| Band | 101 |
| Seiten | 418-424 |
| Erscheinungsvermerk | PLUS - Produktion von Leiterplatten und Systemen, (2010) S.2305-2311 |
| Nachgewiesen in | Scopus |