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Batch fabrication of shape memory actuated polymer microvalves by transfer bonding technique

Grund, T.; Megnin, C. 1; Barth, J. 1; Kohl, M. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Zitationen: 11
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1551-4897
KITopen-ID: 120080991
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Journal of microelectronics and electronic packaging
Verlag IMAPS
Band 6
Seiten 219-27
Nachgewiesen in Scopus
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