Batch fabrication of shape memory actuated polymer microvalves by transfer bonding technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1551-4897 KITopen-ID: 120080991 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | Journal of microelectronics and electronic packaging |
| Verlag | IMAPS |
| Band | 6 |
| Seiten | 219-27 |
| Nachgewiesen in | Scopus |