| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120081714 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Physics Procedia |
| Band | 10 |
| Seiten | 154-161 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |