| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1877-7058 KITopen-ID: 120082048 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Procedia engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 1 |
| Seiten | 237-240 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |