Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1877-7058 KITopen-ID: 120082048 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Procedia engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 1 |
Seiten | 237-240 |
Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |