Kombinierte Fertigung und innovativer Einsatz von mikro- und nanostrukturierten Shim-Formeinsätzen

Guttmann, M.; Jakobs, P. J.; Kaiser, K.; Vannahme, C.; Zimmermann, L.; Schelb, M.; Matthis, B.; Straus, C.; Mappes, T.; Saile, V.

Kombinierte Fertigung und innovativer Einsatz von mikro- und nanostrukturierten Shim-Formeinsätzen

Guttmann, M. ¹; Jakobs, P. J. ¹; Kaiser, K. ¹; Vannahme, C. ¹; Zimmermann, L. ¹; Schelb, M. ¹; Matthis, B. ¹; Straus, C. ¹; Mappes, T. ¹; Saile, V. ¹
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2011
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 120082256
HGF-Programm	43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation
Erschienen in	Galvanotechnik
Band	102
Seiten	394-402
Nachgewiesen in	Scopus

Repository KITopen

Kombinierte Fertigung und innovativer Einsatz von mikro- und nanostrukturierten Shim-Formeinsätzen