Kombinierte Fertigung und innovativer Einsatz von mikro- und nanostrukturierten Shim-Formeinsätzen
Guttmann, M.
1; Jakobs, P. J. 1; Kaiser, K. 1; Vannahme, C. 1; Zimmermann, L. 1; Schelb, M. 1; Matthis, B. 1; Straus, C. 1; Mappes, T. 1; Saile, V. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Jakobs, P. J. 1; Kaiser, K. 1; Vannahme, C. 1; Zimmermann, L. 1; Schelb, M. 1; Matthis, B. 1; Straus, C. 1; Mappes, T. 1; Saile, V. 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120082256 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 102 |
| Seiten | 394-402 |
| Nachgewiesen in | Scopus |