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Herstellung von Mikrobauteilen aus Zirkonoxid

Gietzelt, T. ORCID iD icon; Meyer, P.; Schulz, J. ORCID iD icon; Pellet, G.; Roduit, F.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120082474
HGF-Programm 43.13.03 (POF II, LK 01) Micro chemical engineering
Erschienen in VDI-Z integrierte Produktion
Band 153
Heft 4
Seiten 67-69
Nachgewiesen in Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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