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Herstellung von Mikrobauteilen aus Zirkonoxid

Gietzelt, T.; Meyer, P.; Schulz, J.; Pellet, G.; Roduit, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120082474
HGF-Programm 43.13.03; LK 01
Erschienen in VDI-Z integrierte Produktion
Band 153
Heft 4
Seiten 67-69
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