Electron beam lithography of free-standing Ni-Mn-Ga films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1875-3884, 1875-3892 KITopen-ID: 120083677 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Physics procedia |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 10 |
| Seiten | 174-181 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |