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Modulynaja konstrukcija process-unit. Novyij koncept ustanovok dlja processov travlenija i galyvanoplastiki na kremnievykh plastinakh = Modular aufgebaute Prozesseinheit. Neues Konzept für die galvanische Abscheidung und nasschemische Ätzprozesse in Mikrostrukturen

Guttmann, M.; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, H.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Russisch
Identifikator KITopen ID: 120089621
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erschienen in Tekhnologii v Ehlektronnoj Promyshlennosti
Band 6
Seiten 84-88
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