Modulynaja konstrukcija process-unit. Novyij koncept ustanovok dlja processov travlenija i galyvanoplastiki na kremnievykh plastinakh = Modular aufgebaute Prozesseinheit. Neues Konzept für die galvanische Abscheidung und nasschemische Ätzprozesse in Mikrostrukturen
Guttmann, M.
; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, H.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.
; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, H.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Russisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120089621 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Tekhnologii v Ehlektronnoj Promyshlennosti |
| Band | 6 |
| Seiten | 84-88 |