Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2166-0468 KITopen-ID: 120091428 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | Journal of Micro- and Nano-Manufacturing |
Verlag | The American Society of Mechanical Engineers (ASME) |
Band | 1 |
Heft | 2 |
Seiten | 021002/1-10 |
Nachgewiesen in | Dimensions |