Simulation and experimental study of the effects of process factors on the uniformity of the residual layer thickness in hot embossing
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2166-0468 KITopen-ID: 120091428 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | Journal of Micro- and Nano-Manufacturing |
| Verlag | The American Society of Mechanical Engineers (ASME) |
| Band | 1 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 021002/1-10 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |