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Laserabformung von Mikro- und Nanostrukturen

Wissmann, M.; Besser, H.; Beiser, M.; Pfleging, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2014
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 1614-4538
KITopen-ID: 120097302
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erschienen in Mikroproduktion
Verlag Carl Hanser Verlag GmbH und Co. KG
Heft 4
Seiten 38-41
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