Laserabformung von Mikro- und Nanostrukturen

Wissmann, M.; Besser, H.; Beiser, M.; Pfleging, W.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2014
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISSN: 1614-4538 KITopen-ID: 120097302
HGF-Programm	43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erschienen in	Mikroproduktion
Verlag	Carl Hanser Verlag
Heft	4
Seiten	38-41

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