Laserabformung von Mikro- und Nanostrukturen
Wissmann, M.; Besser, H.; Beiser, M.; Pfleging, W.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 1614-4538 KITopen-ID: 120097302 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erschienen in | Mikroproduktion |
| Verlag | Carl Hanser Verlag |
| Heft | 4 |
| Seiten | 38-41 |