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Laserabformung von Mikro- und Nanostrukturen

Wissmann, M.; Besser, H.; Beiser, M.; Pfleging, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2014
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 1614-4538
KITopen ID: 120097302
HGF-Programm 43.16.01; LK 02
Erschienen in Mikroproduktion
Heft 4
Seiten 38-41
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