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Principles of micro actuators and their applications

Fatikow, Sergei; Rembold, Ulrich



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Prozeßrechentechnik und Robotik (IPR)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 125693
Erscheinungsvermerk In: Proceedings of the IAPR Workshop on Micromachine Technologies and Systems (MTS), Tokio, Japan 1993. S. 108-117.
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