Defect cluster analysis to detect equipment specific yield loss based on yield-to-area calculations
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 127097 |
| Erscheinungsvermerk | In: SPIEs Microelectronic Manufacturing: Yield, Reliability, and Failure, Austin, USA 1997. Bellingham, Wash. 1997. S. 126-137. (Proceedings. SPIE. 3216.) |