Determination of defect size distributions based on electrical measurements at a novel harp test structure
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 127297 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. 1997 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS, Monterey, Calif. 1997. Piscataway, NJ 1997. |