Einfluß realistischer Defektformen auf die Größenverteilung von Defekten für die Ausbeutevorhersage
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 127397 |
| Erscheinungsvermerk | In: Mikroelektronik '97. Vorträge der GMM-Fachtagung, München 1997. Berlin 1997. S. 265-270. (GMM-Fachbericht. 17.) |