Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 12752002 |
Erscheinungsvermerk | In: ASDAM Conference proceedings 2002, The 4th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems, Bratislava, Slovakia 2002. S. 175-178. |