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Microfluidic components in LIGA technique

Schomburg, Werner Karl; Vollmer, Josef; Buestgens, Burkard; Fahrenberg, Jens; Hein, H.; Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 13395
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 4
Seiten 186-91
Erscheinungsvermerk J. of micromech. and microengng. 4 (1994) S. 186-191.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S162
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