Microfluidic components in LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 13395 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 4 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 186-191 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S162 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |