Microfluidic components in LIGA technique

Schomburg, Werner Karl; Vollmer, Josef; Bustgens, Burkard; Fahrenberg, Jens; Hein, Herbert; Menz, Wolfgang

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/4/4/003

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seit 09.10.2020

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 13395
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Journal of micromechanics and microengineering
Verlag	Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band	4
Heft	4
Seiten	186-191
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 95S162