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Microfluidic components in LIGA technique

Schomburg, Werner Karl; Vollmer, Josef; Bustgens, Burkard; Fahrenberg, Jens; Hein, Herbert; Menz, Wolfgang


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/4/4/003
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0960-1317, 1361-6439
KITopen-ID: 13395
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of micromechanics and microengineering
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 4
Heft 4
Seiten 186-191
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S162
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