Das LIGA-Verfahren, eine Methode zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptischen Komponenten für Mikrosysteme (Teil 2)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 13495 |
| Erscheinungsvermerk | Jb. f. Opt. u. Feinmech. 42 (1995) S. 199-220. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S163 |