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Chemistry and kinetics of chemical vapor deposition of pyrocarbon - VIII. Carbon deposition from methane at low pressures

Hu, Zjiun; Huettinger, Klaus J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0008-6223
KITopen-ID: 13542002
Erschienen in Carbon
Verlag Elsevier
Band 39
Heft 3
Seiten 433-441
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