Tribological aspects of microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Keramik im Maschinenbau (IKM) Institut für Materialforschung (IMF) Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde II (IWK II) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 135698 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 83-113 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micro mechanical systems - principles and technology. Ed.: T. Fukuda. Amsterdam 1998. S. 83-113. (Handbook of sensors and actuators. 6.) |