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Tribological aspects of microsystems

Zum Gahr, Karl-Heinz



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Keramik im Maschinenbau (IKM)
Institut für Werkstoffkunde II (IWK II)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 135698
HGF-Programm 41.02.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 83-113
Erscheinungsvermerk In: Micro mechanical systems - principles and technology. Ed.: T. Fukuda. Amsterdam 1998. S. 83-113. (Handbook of sensors and actuators. 6.)
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